钨沉积用的气体是六氟化⏺钨，容易残留🆗🛥氟原子，会🐣🦀腐蚀芯片的介电♐层，导致漏电、失🗞。
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钨沉积用的气体是六氟化⏺钨，容易残留🆗🛥氟原子，会🐣🦀腐蚀芯片的介电♐层，导致漏电、失🗞。
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